突發(fā)！全球光刻機(jī)龍頭ASML TWINSCAN NXT:2050i和NXT:2100i光刻機(jī)發(fā)貨許可證

合明科技發(fā)布時(shí)間：2024-01-03 ?? 3433 Tags：光刻機(jī)ASML 出口許可證 NXT:2050i

2024年1月1日，全球光刻機(jī)龍頭ASML官網(wǎng)發(fā)布聲明稱，荷蘭政府最近吊銷了該公司2023年發(fā)貨TWINSCAN NXT:2050i和NXT:2100i光刻機(jī)的部分許可證，這會(huì)對(duì)其少數(shù)中國(guó)客戶產(chǎn)生影響。

撤銷許可證的一個(gè)大背景，就是2023年美國(guó)發(fā)布了出口管制新規(guī)，進(jìn)一步收緊了對(duì)中國(guó)的設(shè)備出口，而ASML作為芯片核心設(shè)備制造商，也受到影響。不過(guò)，當(dāng)時(shí)ASML高管曾談到，適用該新規(guī)的涉及先進(jìn)芯片制造的中國(guó)晶圓廠數(shù)量有限。

ANNOUNCEMENT .VELDHOVEN，THE NETHERLANDS，JANUARY 12 0 2 4

A license for the shipment of NXT:2050i and NXT:2100ilithography systems in 2023 hasrecently been partially revoked by the Dutch government, impacting a small number ofcustomers in China

We do not expect the current revocation of our export license or the latest U.S. export controlrestrictions to have a material impact on our financial outlook for 2023

In recent discussions with the US government,ASML has obtained further clarification of thescope and impact of the US export control regulations. The latest US export rules (publishedOctober 17,2023)impose restrictions on certain mid critical DUV immersion lithographysystems for a limited number of advanced production facilities.

ASML is fully committed to comply with all applicable laws and regulations including exportcontrol legislation in the countries in which we operate.

TWINSCAN NXT:2050i

TWINSCAN NXT:2050i 是最先進(jìn)的浸沒(méi)式光刻系統(tǒng)設(shè)計(jì)與先進(jìn)鏡頭設(shè)計(jì)的結(jié)合，其數(shù)值孔徑 (NA)為 1.35，這是目前半導(dǎo)體行業(yè)中最高的。該步進(jìn)掃描系統(tǒng)是一款高生產(chǎn)率的雙級(jí)工具，專為批量生產(chǎn)而設(shè)計(jì)。

通過(guò)將高生產(chǎn)率與前所未有的覆蓋性能相結(jié)合，該系統(tǒng)滿足了多種圖案化要求，為在先進(jìn)邏輯和 DRAM 節(jié)點(diǎn)制造 300 毫米晶圓提供了經(jīng)濟(jì)高效的解決方案。

TWINSCAN NXT:2100i

TWINSCAN NXT:2100i 是TWINSCAN NXT:2050i的后繼產(chǎn)品。其新的硬件和軟件創(chuàng)新使單機(jī)覆蓋率提高了 10% (0.9 nm)，匹配機(jī)覆蓋率提高了 13% (1.3 nm)。

NXT:2100i 采用了新的鏡頭畸變操縱器，為芯片制造商提供了前所未有的校正能力。它使系統(tǒng)能夠改善 DUV-EUV 交叉匹配疊加。通過(guò)將 4 色測(cè)量增加到 12 色以及在晶圓測(cè)量側(cè)添加更多對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記測(cè)量，可以提高對(duì)準(zhǔn)精度。各種軟件算法也已更新，以提供改進(jìn)的場(chǎng)間和場(chǎng)內(nèi)疊加控制。

ASML聲明如下：

荷蘭政府近期撤銷部分2023年NXT:2050i及NXT 2100i微影系統(tǒng)之出口許可證，對(duì)少數(shù)位于中國(guó)的客戶產(chǎn)生影響。

我們預(yù)期，當(dāng)前出口許可證的撤銷或美國(guó)最新的出口管制限制措施，不會(huì)對(duì)我們2023年的財(cái)務(wù)前景產(chǎn)生重大影響。

在最近與美國(guó)政府的討論中，ASML獲得了美國(guó)出口管制法規(guī)的范圍和影響的進(jìn)一步明確。美國(guó)最新出口規(guī)則（2023 年 10 月 17 日發(fā)布）對(duì)有限數(shù)量的先進(jìn)生產(chǎn)設(shè)施的某些中關(guān)鍵 DUV 浸沒(méi)式光刻系統(tǒng)施加了限制。

ASML 致力于遵守所有適用之法律和規(guī)范，包括我們運(yùn)營(yíng)所在國(guó)家之出口管制規(guī)范。

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