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英特爾展示前沿晶體管微縮技術(shù)突破:3D堆疊、背面供電、背面觸點

合明科技 ?? 2575 Tags:3D堆疊CMOS晶體管英特爾氮化鎵(GaN)

2023年12月9日,英特爾在IEDM 2023(2023 IEEE 國際電子器件會議)上展示了多項技術(shù)突破,為其未來的制程路線圖提供了豐富的創(chuàng)新技術(shù)儲備,充分說明了摩爾定律仍在不斷演進。

具體而言,英特爾研究人員在大會上展示了結(jié)合背面供電和直接背面觸點(direct backside contacts)的3D堆疊CMOS晶體管,分享了近期背面供電研發(fā)突破的擴展路徑(如背面觸點),并率先在同一塊300毫米晶圓上,而非封裝中,成功實現(xiàn)了硅晶體管與氮化鎵(GaN)晶體管的大規(guī)模單片3D集成。
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晶體管微縮和背面供電是滿足世界對更強大算力指數(shù)級增長需求的關(guān)鍵。一直以來,英特爾始終致力于滿足算力需求,表明其技術(shù)創(chuàng)新將繼續(xù)推動半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展,也仍然是摩爾定律的“基石”。英特爾組件研究團隊不斷拓展工程技術(shù)的邊界,包括晶體管堆疊,背面供電技術(shù)的提升(有助于晶體管的進一步微縮和性能提升),以及將不同材料制成的晶體管集成在同一晶圓上。
英特爾近期在制程技術(shù)路線圖上的諸多進展,包括PowerVia背面供電技術(shù)、用于先進封裝的玻璃基板和Foveros Direct,彰顯了英特爾正在通過技術(shù)創(chuàng)新不斷微縮晶體管。這些創(chuàng)新技術(shù)均源自英特爾組件研究團隊,預(yù)計將在2030年前投產(chǎn)。
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在IEDM 2023上,英特爾組件研究團隊同樣展示了其在技術(shù)創(chuàng)新上的持續(xù)投入,以在實現(xiàn)性能提升的同時,在硅上集成更多晶體管。研究人員確定了所需的關(guān)鍵研發(fā)領(lǐng)域,旨在通過高效堆疊晶體管繼續(xù)實現(xiàn)微縮。結(jié)合背面供電和背面觸點,這些技術(shù)將意味著晶體管架構(gòu)技術(shù)的重大進步。隨著背面供電技術(shù)的完善和新型2D通道材料的采用,英特爾正致力于繼續(xù)推進摩爾定律,在2030年前實現(xiàn)在單個封裝內(nèi)集成一萬億個晶體管。

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