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半導(dǎo)體制造中的金屬污染物的來(lái)源及半導(dǎo)體封裝清洗劑介紹
在半導(dǎo)體制造中,金屬污染物是一個(gè)嚴(yán)重影響器件性能和可靠性的關(guān)鍵問(wèn)題。在半導(dǎo)體制造中,金屬污染物的來(lái)源非常廣泛且復(fù)雜,涉及原材料、工藝環(huán)境、設(shè)備、操作人員等多個(gè)方面。
下面合明科技小編給大家分享的是半導(dǎo)體制造中的金屬污染物的來(lái)源及半導(dǎo)體封裝清洗劑相關(guān)知識(shí),希望能對(duì)您有所幫助!
半導(dǎo)體制造中金屬污染物的來(lái)源:
1、工藝過(guò)程引入:用于清洗、蝕刻、光刻和沉積的化學(xué)試劑(如酸、堿、溶劑)和工藝氣體(如高純氮?dú)?、氧氣)中可能含有微量金屬雜質(zhì)。例如:光刻膠和掩模:光刻膠中的金屬雜質(zhì)或掩模版的污染都有可能引入金屬污染;
2、沉積過(guò)程:物理氣相沉積(PVD)或化學(xué)氣相沉積(CVD)過(guò)程中,靶材或反應(yīng)氣體中的金屬雜質(zhì)可能沉積在硅片上;
3、清洗過(guò)程:清洗液中的金屬離子或清洗設(shè)備的腐蝕產(chǎn)物可能附著在硅片表面。
4、材料本身雜質(zhì):高純度的硅是半導(dǎo)體制造的基礎(chǔ)材料,但硅片中可能含有鐵(Fe)、鋁(Al)、鈦(Ti)、鈣(Ca)等金屬雜質(zhì)。這些雜質(zhì)可能來(lái)源于硅原料的提純過(guò)程或硅片制造過(guò)程。
6、設(shè)備和環(huán)境:工藝設(shè)備如烘箱、反應(yīng)器、離子注入設(shè)備等也可能成為污染源。例如設(shè)備維護(hù)過(guò)程中使用的工具、清潔劑或操作人員的不當(dāng)操作可能引入金屬污染。
6、人體攜帶:操作人員的皮膚、頭發(fā)、衣物等可能攜帶金屬顆粒,尤其是在進(jìn)入潔凈室前未進(jìn)行嚴(yán)格清潔的情況下也可能成為污染源。
7、可移動(dòng)離子污染物(MIC, Mobile Ion Contaminants):這些金屬離子在半導(dǎo)體材料中具有高遷移性,即使在器件通過(guò)測(cè)試后,仍可能在器件內(nèi)部移動(dòng)導(dǎo)致失效。
半導(dǎo)體封裝清洗劑W3800介紹
半導(dǎo)體封裝清洗劑W3800是針對(duì)PCBA(印刷線路板組裝)焊后清洗開(kāi)發(fā)的一款濃縮型環(huán)保水基清洗劑。主要用于清除電子組裝件PCBA、功率LED器件及引線框架型分立器件上的錫膏或者助焊劑殘留物。特別適用于助焊劑殘留較多且頑固的PCBA清洗,本品在材料兼容性方面表現(xiàn)優(yōu)越,適應(yīng)于超聲、噴淋等多種清洗工藝。
半導(dǎo)體封裝清洗劑W3800的產(chǎn)品特點(diǎn):
1、用去離子水按一定比例稀釋后不易起泡,可以應(yīng)用在在線和離線式噴淋清洗設(shè)備中。
2、清洗負(fù)載能力高,可過(guò)濾性好,具有超長(zhǎng)的使用壽命,維護(hù)成本低。
3、適用于具有高精、高密、高潔凈清洗要求的精密電子零件的清洗,特別適用于針對(duì)細(xì)間距和低底部間隙元器件的清洗應(yīng)用。
4、濃縮型產(chǎn)品應(yīng)用更寬廣,選擇不同的稀釋比例靈活清洗不同殘留。
5、對(duì)市場(chǎng)上大多數(shù)種類(lèi)型的助焊劑和錫膏焊后殘留均具有良好的清洗效果。
半導(dǎo)體封裝清洗劑W3800的適用工藝:
W3800水基清洗劑適應(yīng)于超聲、噴淋等多種清洗工藝。
半導(dǎo)體封裝清洗劑W3800產(chǎn)品應(yīng)用:
W3800在材料兼容性方面表現(xiàn)優(yōu)越,主要用于清除電子組裝件PCBA、功率LED器件及引線框架型分立器件上的錫膏或者助焊劑殘留物。特別適用于助焊劑殘留較多且頑固的PCBA清洗,清洗時(shí)可根據(jù)PCBA殘留物的狀態(tài),將本品按一定比例稀釋后再進(jìn)行使用,一般稀釋比例應(yīng)控制在1:3~1:5。
具體應(yīng)用效果如下列表中所列: